Название:Развитие материаловедческой методики диагностики параметров пленок и многослойных структур нанометровых толщин по рассеянию ионов средней энергии
Грантодатель:СПбНЦ РАН
Время действия проекта:2007-2007
Тип:исследовательский
Руководитель(и):Афросимов,ВВ
Подразделения:
Код проекта:2.46
Финансирование 2007 г.:60000